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紫外用非軸放物面ミラー

紫外用非軸放物面ミラー

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  • 深紫外 (DUV) と可視スペクトルにわたって高反射率が得られる反射強化金属膜コーティング
  • 190nmの設計波長
  • <50Å RMSの面粗さ

TECHSPEC® 紫外用非軸放物面ミラーは、190 – 900nmまでに優れた透過率を実現するDUV反射強化アルミコーティングを採用します。この非軸放物面ミラーは、散乱を最小化するために、アルミ基板をダイヤモンド切削加工して50Å未満のRMS表面粗さに仕上げています。標準的なインチサイズ直径で、25.4 – 203mmまでの範囲で複数の焦点距離オプションをラインナップします。TECHSPEC® 紫外用非軸放物面ミラーは、DUVエリプソメーターやDUVラマン分光での使用、もしくは広帯域光源から発するUV光の一般的集光用に最適です。取付けとシステム実装を容易にするため、非軸放物面ミラーの底面部に装着可能なタップ穴の付いたマウンティングプレート #47-111 (別売) もラインナップ。

補足: 本製品に採用のソフトコーティングは、指絞やエアゾルによって恒久的ダメージを受けやすいものです。取扱いの際は、ご注意ください。

共通仕様

基板面粗さ (Å):
<50 RMS
コーティング:
Enhanced Aluminum (190-900nm)
コーティングタイプ:
Metal
コーティングスペック:
Ravg ≥92% @ 190 - 250nm
Ravg ≥83% @ 250 - 900nm
非軸角度 (°):
90
形状誤差, RMS:
λ/8
波長範囲 (nm):
190 - 900
表面品質 (キズ-ブツ):
80-50
基板:
Aluminum 6061-T6
反射波面, RMS:
λ/4

商品一覧

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25.40 25.40
25.40 50.80
25.40 76.20
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