光学用のスーパー (ポリッシュ) ミラーは、極めて高い反射率と散乱や吸収の超低損失特性から、すぐに注目を集めるようになりました。研究開発分野だけでなく、分光解析や測量及び高精度な製造や光センシングといった発展途上の産業アプリケーションに極めて重要な製品です。スーパーミラーの超低光学損失特性は、気体サンプルを今までよりも高感度、高スループットで分析するキャビティリングダウン分光システムに使用できます。
この市場動向にアプローチするため、新たなクラスの半導体スーパーミラーが開発されました。このミラーは、単結晶の光学干渉膜を採用し、光学損失 (散乱と吸収) を近赤外域 (1064 – 1550nm) で3ppm 以下、また中赤外域 (3 - 4μm) では159ppm以下に抑えます。半導体スーパーミラーは、99.9%以上の反射率に低光学損失及び低機械損失、更に高い熱伝導性から、現在市場に流通するどのIR用ミラーよりも光学性能の点で勝ります。
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現在のスーパーミラー技術の中で最も低い機械損失と最も高い熱伝導特性 |
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イオンビームスパッタリングを採用した多層膜ミラーよりも優れた中赤外域における超低光学損失特性 |
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約3Åの面粗さ |
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洗浄可能で特性が劣化しないロバストな反射面 |
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キャビティリングダウン分光やレーザー安定化に向けた参照キャビティを始め、要求の厳しいアプリケーションに最適 |
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材料 & コーティング部門においてプリズムアワードを受賞 |
スーパーポリッシュしたシリコンや合成石英ガラス基板に単結晶のGaAs (ガリウム砒素) の高屈折率層とAl0.92Ga0.08As の低屈折率層を1/4波長の光学膜厚で交互に積層します。コーティングのプロセスや材料構造、及び光学性能の詳細は、以下のトレーニング資料欄にある研究紙に紹介されています。
結晶コーティングを用いることで、イオンビームスパッタリングを用いた誘電体膜ミラーよりも機械損失や熱抵抗を低くさせます。
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