製品がカートに追加されました

極端紫外 (EUV) 用ダイクロイックフィルター

Extreme Ultraviolet (EUV) Dichroic Filters

Extreme Ultraviolet (EUV) Dichroic Filters

×
  • 高次高調波生成でNIR レーザー光源からEUVを分離
  • 高損傷閾値用にデザイン
  • 10 – 40nm までのアプリケーションに対応
  • 在庫品でラインナップ
  • 最低発注数量やコーティングのロットチャージなし

共通仕様

直径 (mm):
50.80
全厚 (mm):
5.08 ±0.1
平行度 (分):
<5
寸法公差 (mm):
+0.0/-0.2
入射角 (°):
78
基板:
Fused Silica (Corning 7980)
コーティング:
Dielectric Multilayer AR
表面品質 (キズ-ブツ):
20-10
形状誤差, RMS:
<λ/10 @ 633nm

商品一覧

 直径 (mm)   全厚 (mm)   波長範囲 (nm)   比較する   商品コード   価格 (税別)  カートに入れる
50.80 5.08 10 - 25
50.80 5.08 20 - 40

商品説明

極端紫外 (EUV) 用ダイクロイックフィルターは、ビームセパレーターとも呼ばれ、高次高調波生成用にEUVとNIR波長間で高い分離効率を提供します。合成石英基板を採用する本フィルターは、ブリュースター角ビームセパレーターやEUVフィルターよりも高いレーザーパワーに対応します。EUV用ダイクロイックフィルターは、10nmから40nmまでの広いバンド幅領域を有します。高次高調波生成に加え、本フィルターは、EUVリソグラフィー、EUVナノマシニング、コヒーレント回折イメージング、超短パルス アト秒パルス生成といったEUVアプリケーションを支えるシステムにも用いることができます。

関連製品

 
販売や技術サポート
 
もしくは 現地オフィス一覧をご覧ください
簡単便利な
クイック見積りツール
商品コードを入力して開始しましょう