DUV 真空対応波長板

DUV 真空対応波長板は、ノンアルマイト仕上げのアルミ製の金枠内に固定され、真空環境での低アウトガス化のため、接着剤フリー構造を採用します。この波長板は、257nmか266nmの設計波長で99.8%超の透過率が得られるように最適化されており、それぞれにλ/2とλ/4の位相差オプションがあります。優れたリタデーション公差とゼロオーダー構造を特徴とする本波長板は、帯域幅が広めで、温度変化に対する感度が低くなります。DUV 真空対応波長板は、金枠の端面に高速軸 (進相軸) がマーキングされており、識別やシステム実装を容易にします。本波長板は、真空環境を必要とするライフサイエンスやリソグラフィーアプリケーションに最適です。