CaliBall™ 干渉計用キャリブレーションデバイス

CaliBall™は、干渉計から得られる球面波をランダムボールテスト法 (RBT) によって校正するために用いられます。ランダムボールテストは、過去に一定の成果を上げましたが、ボールを作る材料が原因で計測精度に限界がありました。CaliBall™は、窒化珪素からボールを作ることにより、精度の対するジレンマを解消しました。25mm径のボールは、Grade 5の真球度 (125nm以下) があり、1.3nm RMSの面仕上げと不透明で11%の表面反射率を有します。実質的に壊れることのないCaliBall™は、キャリブレーションの繰り返し使用において、実用的なソリューションです。何年使用しても、性能の劣化が生じません。

CaliBall™は、3個の球状キネマティックマウントを持つ丈夫なステンレス製ベースと一緒に供給されます。ベース部の片側は部分カットされており、F0.7の球面波でもキャリブレーションすることができます。4" (101.6mm) バヨネットマウント付きCaliBall™ は、水平型干渉計の構築やXYZ軸固定構成を必要としない場合により適します。どのCaliBall™にも、ボールの丸さと仕上げを表した認定証、取扱説明書 (英文)、及びクリーンルーム対応の保管ケース付属です。