顕微鏡用スライドガラス基板上にある円、正方形、ラインなどの幾何学的形状のテストパターン (テストプレート) は、計測システムのキャリブレーションや性能評価に用いるためにデザインされています。「その他の仕様タブ」内に記載された8種類のテストプレートに加え、63.5mm (2.5インチ) 長の直尺スケールも0.5インチ (12.7mm) 刻みで施されています。スライドガラスの寸法は25.4mmW x 76.2mmL x 1.5mmT。一番右側にある大きな円形パターンの直径は0.5インチ (12.7mm) です。テストプレートの#1~#4が基板上側のパターンに相当し (左から右)、#5~#8が下側のパターンになります。NIST バージョンのテストプレート #1, #2, #8 は、NIST認証されたマイクロメーター上でキャリブレーションされています。
Plate | Frame Size | Description |
1 | 4.6 x 3.5mm | Circles with 2.00, 1.00, 0.50, and 0.25mm diameter |
2 | 1.0 x 0.8mm | Circles with 0.500, 0.250, 0.125, 0.0625mm diameter |
3 | 1.0 x 0.8mm | 7 bars separated by 30°, 0.200 x 0.020mm |
4 | 1.0 x 0.8mm | Various circles, bars, and angular features |
5 | 1.0 x 0.8mm | Squares of 0.100, 0.040, 0.020mm (2 sets) |
6 | 2.05 x 1.65mm | Grid with 0.050mm lines at 0.100mm pitch |
7 | 4.2 x 3.4mm | Grid with 0.200mm lines at 0.200mm pitch |
8 | 10mm long | Scale with 0.010mm divisions |
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