極端紫外 (EUV) 用ダイクロイックフィルター

極端紫外 (EUV) 用ダイクロイックフィルターは、ビームセパレーターとも呼ばれ、高次高調波生成用にEUVとNIR波長間で高い分離効率を提供します。合成石英基板を採用する本フィルターは、ブリュースター角ビームセパレーターやEUVフィルターよりも高いレーザーパワーに対応します。EUV用ダイクロイックフィルターは、10nmから40nmまでの広いバンド幅領域を有します。高次高調波生成に加え、本フィルターは、EUVリソグラフィー、EUVナノマシニング、コヒーレント回折イメージング、超短パルス アト秒パルス生成といったEUVアプリケーションを支えるシステムにも用いることができます。