合成石英製ウェハー – 10Å未満の面粗さ

米国Edmund Optics® (EO)の日本法人、エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社は、合成石英製ウェハーの発売を開始した。この多目的ウェハーは、UV グレード合成石英ガラスの薄い円盤状の部品で、オプティカルコーティングの品質を測るためのテスト基板として使用するためにデザインされている。合成石英製ウェハーはまた、セットアップ工程用、或いは半導体、マイクロリソグラフィー、或いはマイクロエレクトロオプティカルアプリケーション (MEMS)用のダミー部品としての使用にも優れている。

超音波洗浄済み

エドモンド・オプティクスの合成石英製ウェハーは、10Å未満の面粗さと、40-20の表面品質 (キズ-ブツ)で規格化。合成石英製ウェハーは、超音波洗浄されており、高品質を保つためにコンタミ・フリーのパッケージで納入される。

直径100mm、200mm、300mmをラインナップ

エドモンド・オプティクスの合成石英製ウェハーは、直径100mm、200mm、300mmの各サイズをラインナップ。RoHSに適合した本製品は、1.00mmの板厚と0.2~2.2μmの透過波長を備えている。合成石英製ウェハーは、全品在庫販売体制により、お客様に短納期で供給する。