Edmund Optics®とUltraFast Innovations社の提携によりEUVアト秒オプティクスの入手が容易に

Edmund Optics^® の日本法人、エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社は、高精度なレーザーオプティクスの最先端メーカーであるUltraFast Innovations GmbH (UFI®)社と提携し、UltraFast Innovations (UFI) EUV アト秒多層膜ミラーを独占的に販売することを発表した。原子レベルの厚さのコーティング層で設計・製造されたこのミラーは、波長/エネルギー、スペクトル位相、高効率という点で非常に高い精度を実現。在庫販売のため、短納期で出荷することが可能となっている。

超短パルス極端紫外 (EUV)システムは、自由電子レーザー (FEL)などの量子光学アプリケーションにおいて重要性を増している。UFI EUVアト秒多層膜ミラーは、 アト秒パルスのステアリング、集光、整形用にデザインされている。その多層膜コーティングは、65eV (19nm)を中心にして6eV (1.8nm)のバンド幅を持ち、s偏光の光に対して38％のピーク反射率が得られる。このミラーは、330アト秒の持続時間を持つEUVパルスに対応し、高次高調波発生 (HHG)に基づくアト秒パルス生成や整形に理想的。

アト秒EUVミラーのような複雑な超短パルス用オプティクスはカスタム設計が必要な場合が多く、少量生産による価格や長いリードタイムが多くの場合許容できるものではなかったため、これまでは調達が困難だった。しかし、EOとUFI社がパートナーシップを組むことにより、このミラーを在庫し、世界中に短納期で出荷できるようになった。これにより、少量でも価格とリードタイムを抑えることが可能になる。これは、特に故障したシステムの迅速な修理、システム試作のための新しいアイデアの迅速な検証、研究を通じた科学的発見のスピードアップに重要となる。

UFI EUVアト秒多層膜ミラーについての詳細は www.edmundoptics.jp/4149で確認することができる。