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イオンビームスパッタリングコーティング

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イオンビームスパッタリングコーティング

  反射率 >99.99%

  温度や湿度をはじめとする環境ファクターの影響を受けにくいコーティング

  >コーティングによって制限されない面粗さ

  266-1600nm 間の波長に対応するコーティング

  超短パルス用コーティングに向けて群遅延分散 (GDD) を制御

エドモンド・オプティクスは、イオンビームスパッタリング (IBS) を用いて蒸着された光学用コーティングの設計と製造を行います。これは、高反射率ミラーや超短パルスレーザー用ミラー、またシャープな転移を有するフィルターに理想的な、高度な再現性をもつコーティング技術です。

 
 

キャビティリングダウン (CRD) 損失計を用いて高反射率IBSコーティングを測定

  • 高反射率光学部品に向けた最先端計測法
  • 全損失をppmレベルで高感度測定
  • 被検用オプティクスと参照用ミラーで構成されたキャビティ内で信号減衰率を測定
高反射率オプティクス用の計測について更に詳しく
CRD loss meters produce a highly-sensitive loss measurement of signal decay rate, quantifying a component’s transmission, absorption, and scatter
Figure 1:CRD損失計は、信号減衰率の高感度損失測定を行うことで、構成部品の透過、吸収、および散乱を定量化する
Loss measurements made using CRD are much more accurate for highly-reflective optics than direct transmission or reflection measurements made using a spectrophotometer
Figure 2:CRDを用いて行われる損失測定は、分光光度計を用いて行われる直接的な透過率あるいは反射率測定よりも、高反射率オプティクスでははるかに正確になる
 

高レーザー誘起損傷閾値 (LIDT)

IBSコーティングは、その高いレーザー損傷誘起閾値から、レーザーオプティクスアプリケーションに最適です。

波長 典型的なLIDT
355nm 10 J/cm2 @ 20ns, 10Hz
532nm 25 J/cm2 @ 20ns, 10Hz
1064nm 30 J/cm2 @ 20ns, 10Hz
Table 1: 継続的なプロセス改善により、LIDTのこうした典型値は時間の経過とともに改善し続ける

超短パルス用IBSコーティング

  • ゼロに近い、または高い負の群遅延分散 (GDD) 用にデザインされたコーティング層
  • 超短パルスレーザーシステムで一般的な高分散を最小化または補償
  • 超短パルスレーザーで有益な短いパルス持続時間を広範なアプリケーションに向けて
  • 白色干渉法を用いてGDDを正確に測定

IBSオプティクス用のスーパーポリッシュ基板

  • <1ÅのRMS面粗さで散乱を最小化
  • 合成石英で50mmまでの直径に対応
  • IBSコーティングを補完して極めて低損失なオプティクスを製作
詳細はこちらから   
 

特注デザイン & 製造のIBSオプティクス

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